藥液純水用流量計
| FLC4000 系列 | ||
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流量 ： 50mL/min～50L/min |
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FLC4000 是針對微小~中流量領域精密流量控制所開發之純水 & 藥液精密流量控制器。 |
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本体由 flow sensor ,精密控制閥及控制電路所組成,可進行高速流量控制,精確的瞬間流量顯示,可輸出信號給半導體設備,並且可使用類比訊號輸入改變製程流量設定值 。 |
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提供半導體生產設備藥液&純水精準之流量供給管 | |
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由設備之氣動 pump 或 tank 加壓所送出藥液或純水可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,確保製程參數的穩定度及減少DI-water 的浪費。 |
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藥液濃度調液管理 : | |
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半導體生產設備中多種藥液或純水希釋,可經由FLC 4000 進行高精密及穩定的流量控制,達到所要求的濃度管理。 |
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豐富的內建流量值輸出訊號功能 可進行即時監視,以減少 wafer 報廢的產生。 | |
| USF100A 系列 | ||
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流量：30mL/mim～2L/min |
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超音波式液體電子式流量計 | |
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管內沒有摺動組件 | |
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NEW PFA 超潔淨材質一体成型本體 | |
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豐富的各種輸出機能 | |
| USF200S 系列 | ||
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流量 ： 0～5000mL/min |
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微小流量專用PFA超音波流量計 | |
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標準型沒有顯示器,可另選配各式顯示器 | |
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可選佩專用軟體進行各種設定 | |
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RS-485通信機能搭載（最高１６台連線可能） | |
| USF300C 系列 | ||
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標準型沒有顯示器,可另選配各式顯示器 |
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可選佩專用軟體進行各種設定 | |
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RS-485通信機能搭載（最高１６台連線可能） | |
| SSL 系列 | ||
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流量 ： 0.5～16L/min |
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超音波渦流式檢出式流量計 | |
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接觸液體的部分沒有驅動裝置 | |
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接液部為Teflon 材質 | |
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CE 認証品 | |
| SSF 系列 | ||
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流量 ：0.5～130L/min |
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超音波渦流式檢出式流量計 | |
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接觸液體的部分沒有驅動裝置 | |
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接液部為Teflon 材質 | |
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CE 認証品 | |
| FF-P 系列 | ||
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流量 ： 20mL/min～50L/min |
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採用光電sensor之 風葉迴轉式流量計 | |
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純水,藥液用 極小簡單 | |
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連續訊號振盪型 | |
| FM-PF 系列 | ||
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流量 ：0.4～100L/min |
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採用PVC 材質本体 | |
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可安裝於盤面 | |
| FM-PF 系列 | ||
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流量 ：0.1～50L/min |
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玻璃測量管規範 | |
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純水／藥液對應 | |
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可加裝警報接點 | |
| FM-PF (エクセルタイプ) 系列 | ||
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流量 ：2mL/min～50L/min |
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PFA 超潔淨材質一体成型本體 | |
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大幅降低洩漏風險 | |
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適用於強酸強鹼之藥液計測 | |
| DUO-PF 系列 | ||
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流量 ： 5mL/mim～1.7L/min |
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偵測子的位置及流量可現場目視 | |
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可同時輸出連續訊號 | |
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塩ビテーパー管タイプ | |
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耐薬品性樹脂を使用した塩ビ製流量計です。 | |
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取扱、保守が容易。 | |
| FC-A(PVC type) 系列 | ||
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流量 ： 0.2～100L/min |
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PVC耐藥品性面積式流量計 | |
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安裝維修容易 | |