药液纯水用流量计
| FLC4000 系列 | ||
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流量 ： 50mL/min～50L/min |
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FLC4000 是针对微小~中流量领域精密流量控制所开发之纯水 & 药液精密流量控制器。 |
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本体由 flow sensor ,精密控制阀及控制电路所组成,可进行高速流量控制,精确的瞬间流量显示,可输出信号给半导体设备,并且可使用类比讯号输入改变制程流量设定值 。 |
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提供半导体生产设备药液&纯水精准之流量供给管 | |
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由设备之气动 pump 或 tank 加压所送出药液或纯水可经由FLC 4000 进行高精密及稳定的流量控制,确保制程参数的稳定度及减少DI-water 的浪费。 |
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药液浓度调液管理 : | |
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半导体生产设备中多种药液或纯水希释,可经由FLC 4000 进行高精密及稳定的流量控制,达到所要求的浓度管理。 |
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丰富的内建流量值输出讯号功能 可进行即时监视,以减少 wafer 报废的产生。 | |
| USF100A 系列 | ||
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流量：30mL/mim～2L/min |
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超音波式液体电子式流量计 | |
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管内没有摺动组件 | |
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NEW PFA 超洁净材质一体成型本体 | |
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丰富的各种输出机能 | |
| USF200S 系列 | ||
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流量 ： 0～5000mL/min |
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微小流量专用PFA超音波流量计 | |
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标准型没有显示器,可另选配各式显示器 | |
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可选佩专用软体进行各种设定 | |
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RS-485通信机能搭载（最高１６台连线可能） | |
| USF300C 系列 | ||
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标准型没有显示器,可另选配各式显示器 |
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可选佩专用软体进行各种设定 | |
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RS-485通信机能搭载（最高１６台连线可能） | |
| SSL 系列 | ||
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流量 ： 0.5～16L/min |
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超音波涡流式检出式流量计 | |
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接触液体的部分没有驱动装置 | |
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接液部为Teflon 材质 | |
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CE 认证品 | |
| SSF 系列 | ||
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流量 ：0.5～130L/min |
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超音波涡流式检出式流量计 | |
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接触液体的部分没有驱动装置 | |
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接液部为Teflon 材质 | |
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CE 认证品 | |
| FF-P 系列 | ||
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流量 ： 20mL/min～50L/min |
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采用光电sensor之 风叶回转式流量计 | |
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纯水,药液用 极小简单 | |
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连续讯号振荡型 | |
| FM-PF 系列 | ||
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流量 ：0.4～100L/min |
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采用PVC 材质本体 | |
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可安装於盘面 | |
| FM-PF 系列 | ||
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流量 ：0.1～50L/min |
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玻璃测量管规范 | |
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纯水／药液对应 | |
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可加装警报接点 | |
| FM-PF (エクセルタイプ) 系列 | ||
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流量 ：2mL/min～50L/min |
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PFA 超洁净材质一体成型本体 | |
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大幅降低泄漏风险 | |
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适用於强酸强硷之药液计测 | |
| DUO-PF 系列 | ||
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流量 ： 5mL/mim～1.7L/min |
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侦测子的位置及流量可现场目视 | |
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可同时输出连续讯号 | |
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塩ビテーパー管タイプ | |
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耐薬品性树脂を使用した塩ビ制流量计です。 | |
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取插、保守が容易。 | |
| FC-A(PVC type) 系列 | ||
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流量 ： 0.2～100L/min |
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PVC耐药品性面积式流量计 | |
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安装维修容易 | |